大阪大学基礎工学研究科機能創成専攻機能デザイン領域 川野研究室

Fabrications

反応性イオンエッチング装置
Reactive Ion Etching (RIE) Systems

反応性イオンエッチングにより，高い再現性を有する基板の微細加工が可能です． 100ナノメートルオーダー（髪の毛の太さの1000分の1）の溝を基板に掘ることが出来ます．

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高周波（RF）スパッタリング装置
Radio Frequency (RF) Sputtering System

基板上に金属や絶縁体の薄膜を作製することが可能です． 当研究室では，フォトリソグラフィと組み合わせることで，基板上にAu薄膜の微細パターニングなどを行っています．

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3次元光造形装置
3D Printer

CADを使ってデザインした実験デバイスや冶具を，3次元光造形することが可能です． 通常の加工技術では作製困難な形状も造形できます． 数十分〜数時間で実験装置が出来上がるので，早いサイクルで実験を進めることが出来ます．

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熱蒸着装置
Thermal Deposition System

基板上に金属薄膜を作製することが可能です． 当研究室では，フォトリソグラフィと組み合わせることで，基板上に金属薄膜のパターニングなどを行っています．

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熱ナノインプリント装置
Thermal Nanoimprinter

微細形状を有するモールドを熱可塑性樹脂に押し付けることで，モールド形状を樹脂に転写することが可能です．

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Measurements

光ピンセット装置
Optical Tweezer System

集光したレーザーにより，流体中のマイクロ・ナノ粒子を操作することが可能です． 光圧による物質操作とそれにともなうマイクロ・ナノスケールの熱流動現象を利用することで，粒子捕捉やパターン形成に関する研究を行っています．

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共焦点顕微鏡
Confocal Microscope System

流路内の断面を観察するための共焦点顕微鏡システム一式です． 観察ステージの自動制御と断面の連続撮影により，3次元像の構築が可能です．

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原子間力顕微鏡
Atomic Force Microscopy 1

カンチレバー先端と観察対象間の原子間力の変化を利用し，観察対象の形状をナノメートルオーダーで同定することが可能です． 当研究室では，基板上におけるDNA分子の自己集合化パターンの評価などに用いられています．

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原子間力顕微鏡
Atomic Force Microscopy 2

カンチレバー先端と観察対象間の原子間力の変化を利用し，観察対象の形状をナノメートルオーダーで同定することが可能です． 当研究室では，基板上におけるDNA分子の自己集合化パターンの評価などに用いられています．真空中にての観察も可能です．

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